ERFOLG DURCH INNOVATION

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Optisches Messverfahren zur berührungslosen Topografiemessung

Um für optische Elemente und Systeme eine Beurteilung der optischen Eigenschaften vornehmen zu können, wird bei Verwendung der Standardverfahren eine teure Referenzfläche mit nahezu der gleichen Topografie wie die des zu prüfenden Objekts benötigt.

 

Mit dem patentierten Verfahren zur optischen Analyse von reflektierenden Oberflächen wird keine Referenzoptik benötigt, aber dennoch eine hohe Genauigkeit (< 10 nm) erzielt. Hierzu wird die Intensitätsverteilung eines vom Prüfling reflektierten Prüfstrahl in mehreren Ebenen gemessen. So kann der exakte Strahlverlauf bestimmt und die Steigung der Oberfläche ermittelt werden. Neben dem Profil der Oberfläche kann mit dem Verfahren ebenfalls die Welligkeit und Rauheit gemessen werden.

 

Anwendungsgebiete sind u. a. die Untersuchung von Linsensystemen, Wafern, Blechen oder Teilen mikromechanischer Sensoren.

 

© Hochschule Bremen

 

ANWENDUNGSBEREICH

Optische Messtechnik,
Qualitätssicherung

SCHLÜSSELWÖRTER

Berührungsloses Messen, reflektierende Oberflächen, Freiformflächen, Topografiemessung

SCHUTZRECHTE

DE 10 2011 077 982 B4 erteilt

ANGEBOT

Lizenzierung, Verkauf,
Kooperation und Weiterentwicklung

EINE ERFINDUNG VON

Hochschule Bremen

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